Inteligentné 3D koaxiálne lineárne konfokálne senzory
Tieto senzory poskytujú vysokorýchlostný, vysokorozlišovací, všestranný a bez-tieňový 3D inline kontrolný výkon s vynikajúcim uhlovým rozsahom (maximálny sklon až +/- 85 stupňov) pre výrobné aplikácie v polovodičovom priemysle, spotrebnej elektronike, batériách pre elektromobily a mnohých ďalších oblastiach.
- 1920 bodov na profil pre vysokorozlišovacie a bez-tieňové 3D meranie a kontrolu
- X rozlíšenie až do 1,9 mikrometra
- Zorné pole až do 5,0 milimetra
- Maximálny uhol sklonu až +/- 85 stupňov
- Rýchlosti až 16 kHz+ pri obmedzenom meracom rozsahu (s použitím akcelerácie Gomax NX alebo PC), 4+ kHz pri plnom meracom rozsahu
Datasheet
Model | G4010 | G4020 |
---|---|---|
Počet dátových bodov / Profil | 1920 | 1920 |
Rýchlosť snímania (Hz) * | 4300 - 14000 | 4500 - 16000 |
Rozlíšenie X (µm) (Interval profilových dát) |
1,9 | 2,6 |
Linearita Z (+/- % z MR) ** | 0,06 | 0,02 |
Opakovateľnosť Z (µm) ** | 0,12 | 0,25 |
Rozlíšenie Z (µm) | 0,25 | 0,50 |
Vzdialenosť od objektu (CD) (mm) | 9,3 +/-0,2 | 27,8 +/-0,3 |
Merací rozsah (mm) | 1,05 | 2,5 |
Zorné pole (mm) | 3,5 | 5,0 |
Maximálny uhol sklonu (º) | 45-85 | 30-85 |
Rozmery (mm) | 183x82x459 | 183x82x428 |
Hmotnosť (kg) | 10,4 | 9,6 |